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真空石墨加热炉、真空碳管炉、真空碳棒炉：真空石墨加热炉是采用高纯石墨经过专业加工成特定形状的发热器件，然后通入大电流使石墨器件发热，从而带动炉腔温度的升高。根据石墨发热器件加工形式的不同，可分为真空碳管炉和真空碳棒炉。真空碳管炉是采用高纯石
